据韩媒《朝鲜日报》4月6日另据,SK海力士汉阳M16工厂3名工人在定期检查设备的过程中因毒性物质氟酸泄露受伤。M16工厂是在此之前竣工的DRAM采购工厂。当天晚间11点34分时,在庆尚汉阳市SK海力士 M16工厂5楼的设备进行定期检查后曾,发生氢氟酸泄露事故。
氟酸是无色毒性硫酸溶解在水中的挥发性液体。使用于半导体器件电路绘制Pattern的喷涂制程中。
在这起事故中,一名30岁的工人的胳膊和肩膀被伤到,另有两名公共部门也因窒息氟酸液态集中于至周边地区医务人员。据另据,3名均无冒著。SK海力士透露,此次事故是在对另行的M16工厂设备进行定期检查时发生的,对半导体器件采购没有影响。
(图片来源不明:朝鲜日报)
据悉,M16工厂将主要采购DRAM厂商,占地面积5.7万平方米。在2021年1月,SK海力士在韩国庆尚汉阳总部参加M16另行厂竣工仪式,同年无限期另行厂落地。
SK海力士首次在M16加装EUV(极紫外)光刻机,并从今年月底起采购第四代1α纳米级DRAM厂商。未来SK海力士将提高EUV设备利用率,全面性增强存储器半导体器件相关的高科技生物医学自我管理。
来源不明:半导体器件零售业联盟
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